高純氣體系統工程輸送的氣體(如超高純氬氣、氮氣)純度需達到 99.9999% 以上,氧含量需控制在 ppb 級,否則會影響下游生產。例如在鈦合金焊接中,氬氣中氧含量超過 50ppb 會導致焊縫氧化,降低強度;在 LED 外延片生產中,氧氣會污染 MOCVD 反應腔,影響芯片發光效率。ppb 級氧含量檢測需用氧化鋯氧分析儀,在管道出口處采樣,檢測前用標準氣(氧含量 10ppb、100ppb)校準,測量誤差≤±5%。檢測時需關注管道材質 —— 普通不銹鋼管內壁會吸附氧氣,因此高純氣體管道需采用電解拋光 316L 不銹鋼,且焊接時用高純氬氣保護,避免氧化。通過嚴格的氧含量檢測,可確保氣體純度滿足工藝要求,這是高純氣體系統工程質量的重要指標。實驗室氣路系統的氦檢漏,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s,保障易燃易爆氣體使用安全。汕尾尾氣處理系統氣體管道五項檢測耐壓測試
實驗室氣路系統的保壓測試不合格(泄漏)會導致空氣中的水分進入管道,因此需聯動檢測。例如氫氣管道泄漏會吸入潮濕空氣,導致水分含量從 10ppb 升至 1000ppb,影響實驗。檢測時,保壓測試合格(壓力降≤1%)后,測水分含量(≤50ppb);若保壓不合格,需修復后重新檢測水分。實驗室氣路系統的閥門若使用普通密封脂(含水分),也會導致水分超標,因此需用硅基密封脂(低水分),且保壓測試需驗證閥門密封性能。這種聯動檢測能確保氣體干燥度,為實驗數據準確性提供保障。河源電子特氣系統工程氣體管道五項檢測0.1 微米顆粒度檢測可識別高純氣體管道內顆粒污染物,每立方米≤1000 個,滿足精密用氣需求。
大宗供氣系統的管道泄漏會吸入空氣中的顆粒污染物,因此氦檢漏與顆粒度檢測需聯動。例如某汽車廠的壓縮空氣管道,因焊接泄漏吸入粉塵,導致顆粒度超標(0.1μm 及以上顆粒 100000 個 /m3),影響噴涂質量。檢測時,氦檢漏合格(泄漏率≤1×10??Pa?m3/s)后,測顆粒度;若氦檢漏發現泄漏,顆粒度必超標。這種關聯檢測能快速判斷顆粒污染來源 —— 若顆粒度超標且氦檢漏合格,可能是過濾器失效;若兩者均不合格,必為管道泄漏。對于大宗供氣系統而言,這種方法能提高問題排查效率,降低生產成本。
大宗供氣系統中,水分和氧氣會協同加速管道腐蝕(如形成電化學腐蝕),因此需聯動檢測。例如氮氣管道中的水分(>1000ppb)和氧氣(>500ppb)會導致內壁銹蝕,生成氧化鐵顆粒,污染氣體。檢測時,水分(≤500ppb)和氧含量(≤100ppb)需同時達標;若其中一項超標,需修復后重新檢測另一項。大宗供氣系統需安裝 “干燥機 + 脫氧器”,且需定期檢測其性能,而關聯檢測能驗證系統效果 —— 若水分合格但氧含量超標,可能是脫氧器失效。這種方法能延長管道壽命,降低維護成本。氧含量(ppb 級)檢測需控制高純氣體管道內氧含量≤50ppb,避免氧氣引發氣體化學反應。
大宗供氣系統的管道輸送量大、距離長,微小泄漏會導致氣體大量浪費,增加生產成本,氦檢漏能準確發現這類問題。檢測時,向管道內充入氦氣(壓力 0.3MPa),用氦質譜檢漏儀在管道外側掃描,泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s。大宗供氣系統的管道多為螺旋縫埋弧焊鋼管,焊接處若存在氣孔、未焊透等缺陷,會導致泄漏 —— 例如某鋼廠的氧氣管道,年泄漏量可達 5000m3,損失超過 10 萬元。氦檢漏能定位這些泄漏點,尤其是埋地管道的泄漏(可通過地表氦氣濃度檢測發現),為修復提供準確位置,降低氣體損耗。對于大宗供氣系統而言,氦檢漏不僅是質量保障手段,更是降本增效的重要措施。大宗供氣系統的氧含量(ppb 級)檢測需≤50ppb,避免氧氣超標導致金屬加工件氧化。東莞實驗室氣路系統氣體管道五項檢測耐壓測試
實驗室氣路系統的水分(ppb 級)檢測,用露點儀連續監測 30 分鐘,數據需穩定。汕尾尾氣處理系統氣體管道五項檢測耐壓測試
高純氣體系統工程對管道密封性的要求堪稱苛刻,哪怕微小泄漏都可能引入雜質,破壞氣體純度。氦檢漏作為高精度泄漏檢測手段,在該系統中不可或缺。檢測時,先將高純氣體管道抽真空至≤5×10?3Pa,再向管道內側充入 5% 氦氣與 95% 氮氣的混合氣體,外側用氦質譜檢漏儀探頭掃描。根據標準,泄漏率需控制在≤1×10??Pa?m3/s,這一精度遠高于肥皂水檢漏等傳統方法。對于輸送超高純氮氣(純度 99.9999%)或電子級氨氣的管道,氦檢漏能準確定位焊接缺陷、閥門密封不良等問題,避免微量泄漏導致的氣體純度下降 —— 要知道,電子級氣體中雜質含量需控制在 ppb 級,任何泄漏引入的空氣(含氧氣、水分)都會直接影響產品良率,因此氦檢漏是高純氣體系統工程驗收的 “必過項”。汕尾尾氣處理系統氣體管道五項檢測耐壓測試