真空測量就是真空度的測量,而真空度(詳細注釋見前文:知識分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。注釋:大氣壓力:通常指一個標準大氣壓,壓強的單位之一。當溫度為0℃(273.1...
渦輪分子泵的工作原理是在電機的帶動下,動葉輪高速旋轉(動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度,一般為150~400米/秒)。在分子流區域內,氣體分子與高速轉動的葉片表面碰撞,動量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面運動方向上產生定向流動而被排出泵外,從...
4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用...
其他角度對真空計進行分類,如根據測量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計在這些方面也有區別。例如,MEMS電容薄膜真空計作為MEMS電容式傳感器的一種,具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點。它能夠滿足深空探測、空氣動力學研究、臨近...
電容薄膜真空計:屬彈性元件真空計,其結構和電路原理是一彈性薄膜將規管真空室分為兩個小室,即參考壓強室和測量室。測量低壓強(P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容...
真空計的安裝誤差安裝位置不當導致誤差:①管路流導限制(需短而粗的連接管);②溫度梯度(避免熱源附近);③振動(機械泵需隔振);④方向性(某些薄膜規需水平安裝)。規范要求測量點盡量靠近真空腔體,必要時使用差分測量消除管路效應。電離規安裝角度應避免顆粒落入燈絲區域...
選擇真空計應該注意什么6.安裝與接口安裝方式:根據系統設計選擇合適的安裝方式,如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性:確保真空計的接口與系統兼容。7.電源與信號輸出電源需求:選擇符合系統電源要求的真空計。信號輸出:根據需求選擇模擬信號(如4-20mA、0-10V)...
真空鍍膜技術真空蒸發鍍膜將材料加熱至汽化,在基板上冷凝成膜;濺射鍍膜用離子轟擊靶材噴射原子。應用于眼鏡防反射膜(MgF?)、手機屏幕ITO導電膜。磁控濺射速率可達μm/min,膜層均勻性±1%。真空環境避免氧化,膜厚可控至納米級,太陽能電池也依賴此技術提升光吸...
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關,屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通...
旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當轉子按箭頭方向旋轉時,與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大,正處于吸氣過程;而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小,正處于排氣過程;居中的空間B的容積也逐漸減小,正處于壓縮過程。由于空間...
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣...
年度大維護***拆檢(根據使用頻率)更換磨損的旋片、軸承、密封圈等易損件。清理泵腔內積碳、油泥(可用**清洗劑浸泡后擦拭)。校準真空度對比真空表讀數與標準值,偏差大時需排查泄漏或部件老化。潤滑電機軸承加注高溫潤滑脂(如鋰基脂),避免干磨。五、注意事項停泵操作:...
干式螺桿真空泵(DryScrewPump)原理:兩根相互嚙合的螺桿(轉子)在泵腔內反向旋轉,氣體沿螺桿軸向被壓縮并排出。無需油潤滑,采用間隙密封。特點:極限真空:10?2~10?3Pa。無油污染,適用于潔凈環境(如半導體、制藥)。耐腐蝕,可抽除可凝性氣體。3....
真空泵維修全指南:常見故障診斷與解決方案 真空泵作為工業生產和科研實驗中的重要設備,其正常運行對許多工藝流程至關重要。然而,長期使用過程中難免會出現各種故障。本文將系統介紹真空泵的常見故障類型、診斷方法、維修步驟以及預防性維護措施,幫助您快速解決真空...
常見故障診斷抽速下降或極限真空度不足可能原因:密封件老化(O型圈、軸封)、油污染/不足(油封泵)、內部磨損(旋片、轉子)、進氣口堵塞、真空系統泄漏。檢查步驟:用檢漏儀(如氦質譜儀)檢測系統泄漏。檢查油位和油質(渾濁或乳化需更換)。聽運行噪音(磨損可能伴隨異響)...
干式螺桿真空泵優點:無油設計,避免污染,適用于潔凈環境(如半導體、制藥)。耐腐蝕,可抽除可凝性氣體和粉塵。維護周期長,運行穩定。缺點:初始成本較高。對加工精度要求高,維修復雜。(3)羅茨真空泵(Roots Pump)優點:抽速大,適合大流量抽氣。干式運行,無油...
維護建議日常保養:定期換油(油封泵每500-2000小時,高溫環境縮短周期)。清潔進氣過濾器(防止粉塵進入泵腔)。長期停用:排空舊油,注入防銹油。封閉進氣口和排氣口。注意事項安全警示:勿在易燃環境中操作(真空泵可能排放可燃油霧)。處理腐蝕性介質后,需徹底清潔泵...
(1)傳輸式真空泵通過改變泵腔的體積來抽氣,將氣體分子不斷地吸入真空泵中,并排到外界環境;這種泵又可分為兩種類型,即容積式真空泵和動量傳遞真空泵。①容積式真空泵:利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。常見的容積式真空泵包...
(2)常見的真空泵機組真空泵機組通常由主泵、前級泵、控制系統以及其他必要的附件組成。以下是幾種常見的真空泵機組:①雙級水環泵+大氣噴射泵機組圖為有擋油阱的低真空機組。雙擊水環泵和大氣噴射泵串聯組成的機組極限壓力1300Pa。工作時,先開動水環泵,以獲得大氣...
清潔與組裝清潔方法:用無紡布和**溶劑(如**)***泵腔油污、積碳。干式泵需徹底***粉塵(避免使用水洗,防止銹蝕)。組裝要點:涂抹少量真空脂在密封面(如端蓋法蘭)。按拆卸逆序組裝,確保旋片、轉子方向正確。對稱擰緊螺栓(避免受力不均導致泄漏)。6.測試與調試...
(2)常見的真空泵機組真空泵機組通常由主泵、前級泵、控制系統以及其他必要的附件組成。以下是幾種常見的真空泵機組:①雙級水環泵+大氣噴射泵機組圖為有擋油阱的低真空機組。雙擊水環泵和大氣噴射泵串聯組成的機組極限壓力1300Pa。工作時,先開動水環泵,以獲得大氣...
干式螺桿真空泵優點:無油設計,避免污染,適用于潔凈環境(如半導體、制藥)。耐腐蝕,可抽除可凝性氣體和粉塵。維護周期長,運行穩定。缺點:初始成本較高。對加工精度要求高,維修復雜。(3)羅茨真空泵(Roots Pump)優點:抽速大,適合大流量抽氣。干式運行,無油...
維修前的準備工作安全措施:確保設備斷電,系統泄壓,做好防護措施。對于大型工業真空泵,可能需要**工具和設備10。故障診斷:根據故障現象初步判斷問題所在,準備相應的備件和工具。有條件時可查閱設備維修手冊3。工作環境:清潔的工作區域對真空泵維修至關重要,避免灰...
定期保養計劃小保養:每500-1000運行小時進行,包括換油、清潔過濾網、檢查緊固件等3。中保養:每2000-3000運行小時進行,除小保養內容外,還需檢查軸承狀態、測量配合間隙、更換易損件等1。大保養:每6000-8000運行小時或按廠家建議進行,需**...
現代真空泵的誕生(20世紀初)1905年:德國西門子公司推出***臺水環真空泵7。1907年:油封旋轉泵(Oil-Sealed Rotary Pump)問世,成為機械真空泵的重要類型1。1913年:分子泵(Molecular Pump)發明,適用于高真空環境1...
徐州卷煙廠的真空泵項修項目展示了典型的工業維修流程:問題診斷:該廠2#、3#、4#真空泵效率下降,運行穩定性差;新增真空泵抽氣量和真空度不達標24。維修范圍:包括真空泵本體維修、管道線路重新敷設、泵房布局調整等系統工程2。質量要求:表面無污垢損傷;運行穩定...
真空泵的日常維護是確保其長期穩定運行、延長使用壽命的關鍵。以下是詳細的維護步驟和注意事項,適用于常見的旋片式、螺桿式、渦旋式等真空泵: 每月/季度維護檢查皮帶張力(皮帶傳動型)手指按壓皮帶中部,下垂幅度約10~15mm為正常,過松打滑,過緊損傷軸承。...
干式螺桿真空泵(DryScrewPump)原理:兩根相互嚙合的螺桿(轉子)在泵腔內反向旋轉,氣體沿螺桿軸向被壓縮并排出。無需油潤滑,采用間隙密封。特點:極限真空:10?2~10?3Pa。無油污染,適用于潔凈環境(如半導體、制藥)。耐腐蝕,可抽除可凝性氣體。3....
真空泵是用于產生、改善和維持真空環境的設備,廣泛應用于半導體、醫療、化工、食品包裝等領域。根據工作原理和結構,真空泵可分為機械泵和非機械泵兩大類,每類下又有多種類型。以下是主要真空泵的類型及其工作原理:機械真空泵(通過機械運動抽氣)1.油封旋片真空泵(Oil-...
專業維修服務選擇對于復雜故障或缺乏專業工具的情況,可考慮:廠家維修:聯系設備原廠或授權服務商,確保使用質量備件和專業工具610。第三方服務:選擇有資質的專業維修公司,如要求"3-5年以上真空泵維修經驗,有萊寶、愛德華、普旭真空泵維修經驗"的服務商10。招標...