清潔與組裝清潔方法：用無紡布和**溶劑（如**）***泵腔油污、積碳。干式泵需徹底***粉塵（避免使用水洗，防止銹蝕）。組裝要點：涂抹少量真空脂在密封面（如端蓋法蘭）。按拆卸逆序組裝，確保旋片、轉子方向正確。對稱擰緊螺栓（避免受力不均導致泄漏）。6.測試與調試空載測試：點動啟動，觀察電機轉向是否正確。運行5-10分鐘，檢查：噪音/振動是否正常。油封泵的油霧排放情況。電機電流（異常升高可能預示過載）。性能測試：連接真空計，測量極限真空度（對比出廠標準）。抽氣速率測試（如用流量計）。用以產生、改善和維持真空的裝置稱為真空泵。內蒙古測試真空泵維修原廠家 真空泵的應用領域非常***，幾乎涵蓋所有需要...

維修真空泵需要系統化的步驟，以確保安全、高效地排除故障并恢復性能。以下是詳細的維修流程，適用于常見的油封旋片泵、干式泵等類型，具體操作需結合設備手冊進行。真空泵維修步驟1. 安全準備斷電/泄壓：關閉電源，釋放泵內真空（如有泄壓閥，緩慢打開）。排油：油封泵需排空舊油（避免污染環境，使用**容器收集）。防護措施：佩戴手套、護目鏡，確保工作區域通風（尤其處理腐蝕性介質后）。2. 初步診斷觀察現象：記錄故障（如噪音、漏油、抽速下降）。簡單測試：手動轉動聯軸器，檢查是否卡滯。通電短時運行（如有條件），***異響或觀察油霧情況。工具輔助：用真空計檢測極限真空度。氦質譜儀或肥皂水檢測系統泄漏。哪里有真空泵維...

真空泵作為重要的真空獲取設備，其特點因類型不同而有所差異，但總體上可以從工作原理、性能參數、應用場景等方面進行歸納。以下是各類真空泵的主要特點：一、按工作原理分類的特點1. 機械真空泵（通過機械運動抽氣）（1）油封旋片真空泵優點：結構簡單，維護方便，成本較低。極限真空較高（可達10?2 ~ 10?3 Pa）。適用于低真空和中真空應用。缺點：需要定期更換真空泵油，存在油污染風險。不適用于抽除腐蝕性氣體或可凝性蒸汽。。真空泵日常維護的預防性措施。湖北真空測量真空泵維修詢問報價 真空泵選型關鍵因素所需真空度（粗/中/高/超高真空）。抽氣速率（單位時間抽氣量，如m3/h）。介質兼容性（腐蝕性、可凝性...

未來發展趨勢無油化：干式真空泵（如螺桿泵、爪式泵）成為主流，減少污染。智能化：集成傳感器和遠程監控，實現預測性維護。節能高效：優化設計，降低能耗（如變頻控制）。微型化：適用于小型化設備（如便攜式真空系統）。總結油封泵：成本低，但需維護油路，適用于普通工業。干式泵：無油、耐腐蝕，適合潔凈行業。高真空泵（擴散泵、分子泵）：用于科研和精密制造，但成本高。未來方向：更環保、智能、高效。根據具體需求（真空度、介質、預算等）選擇合適的真空泵類型至關重要。真空泵出現故障應如何解決？吉林高純度真空泵維修設備公司干式螺桿真空泵（DryScrewPump）原理：兩根相互嚙合的螺桿（轉子）在泵腔內反向旋轉，氣體沿螺...

分步維修操作拆卸檢查：按順序拆卸泵體，檢查各部件磨損情況。特別注意旋片、轉子、端蓋板之間的配合間隙，以及泵腔內部狀況1。部件清洗：使用適當溶劑清洗所有零件，特別是油路和精密配合面。清洗后應用高壓空氣吹通油孔1。更換磨損件：更換所有超過磨損極限的部件，如密封圈、軸承、彈簧等。注意使用原廠或同等質量的替代品13。重新裝配：按照標準流程重新裝配，確保各部件配合良好。特別注意轉子的對中和端蓋的壓緊力度1。潤滑處理：裝配過程中在適當部位添加潤滑劑，特別是軸承和滑動部件1。系統測試：維修完成后進行空載和負載測試，檢查真空度、噪音、振動等參數是否恢復正常2。維修后的調試與驗證性能測試：測量并記錄真空度、抽氣...

真空獲得的基本方法1. 機械排氣法容積式真空泵：通過周期性改變泵腔容積實現氣體壓縮和排出旋片泵、活塞泵、螺桿泵、渦旋泵等動量傳輸式泵：通過高速旋轉部件將動量傳遞給氣體分子羅茨泵、渦輪分子泵等2. 氣體捕集法吸附泵：利用吸附材料(如分子篩、活性炭)在低溫下吸附氣體低溫泵：通過低溫冷凝和吸附捕集氣體分子離子泵：利用電離和化學吸附原理捕集氣體3. 氣體轉換法擴散泵：通過高速油蒸氣射流攜帶氣體分子噴射泵：利用工作流體(蒸汽或氣體)的引射作用抽氣真空系統是由幾個部分組成的？河南測量真空泵維修生產廠家清潔與組裝清潔方法：用無紡布和**溶劑（如**）***泵腔油污、積碳。干式泵需徹底***粉塵（避免使用水洗...

未來發展趨勢無油化：干式真空泵（如螺桿泵、爪式泵）成為主流，減少污染。智能化：集成傳感器和遠程監控，實現預測性維護。節能高效：優化設計，降低能耗（如變頻控制）。微型化：適用于小型化設備（如便攜式真空系統）。總結油封泵：成本低，但需維護油路，適用于普通工業。干式泵：無油、耐腐蝕，適合潔凈行業。高真空泵（擴散泵、分子泵）：用于科研和精密制造，但成本高。未來方向：更環保、智能、高效。根據具體需求（真空度、介質、預算等）選擇合適的真空泵類型至關重要。真空泵如何定期保養？甘肅高純度真空泵維修公司 真空泵的日常維護是確保其長期穩定運行、延長使用壽命的關鍵。以下是詳細的維護步驟和注意事項，適用于常見的旋片...

真空泵的日常維護是確保其長期穩定運行、延長使用壽命的關鍵。以下是詳細的維護步驟和注意事項，適用于常見的旋片式、螺桿式、渦旋式等真空泵： 每周/定期維護更換真空泵油（油封泵）***運行后建議500小時換油，之后每1000~2000小時或按廠家要求更換。換油時排盡舊油，并用新油沖洗泵腔（必要時）。清潔進氣過濾器堵塞的過濾器會降低抽速，增加負載。用壓縮空氣或中性清潔劑清理，破損則更換。檢查密封性管路、閥門、法蘭連接處涂抹肥皂水檢測漏氣，氣泡產生處需緊固或更換密封件。排水（濕式泵或易凝氣體工況）打開排氣閥或排水閥釋放冷凝液，防止腐蝕泵腔。 哪些真空泵不能單獨使用？天津高質量真空真空泵維修供應...

拆卸泵體拆卸順序（以旋片泵為例）：拆除進氣口、排氣口管道。卸下油箱（如有）和油濾網。松開端蓋螺栓，分離泵腔與電機。取出轉子、旋片、彈簧等運動部件。注意事項：拍照或標記零件位置，避免裝錯。使用**工具（如拉馬拆卸軸承）。4. 關鍵部件檢查與維修密封系統：更換老化/變形的O型圈、軸封（材質需耐油耐溫，如氟橡膠）。檢查進氣閥密封性（如氣鎮閥是否漏氣）。磨損件：旋片泵：測量旋片長度（磨損超過原長度10%需更換）。羅茨泵/螺桿泵：檢查轉子間隙（用塞尺測量，超出公差需調整或更換）。缸體/泵腔：檢查內壁劃痕（輕微劃痕可拋光，嚴重需鏜缸或更換）。軸承與軸：轉動軸承聽是否有雜音，更換卡滯或松動軸承。檢查軸頸磨損...

真空泵是用于產生、改善和維持真空環境的設備，廣泛應用于半導體、醫療、化工、食品包裝等領域。根據工作原理和結構，真空泵可分為機械泵和非機械泵兩大類，每類下又有多種類型。以下是主要真空泵的類型及其工作原理：機械真空泵（通過機械運動抽氣）1.油封旋片真空泵（Oil-SealedRotaryVanePump）原理：依靠偏心轉子帶動旋片在泵腔內旋轉，旋片在離心力作用下緊貼泵壁，將氣體從進氣口吸入并壓縮，**終通過排氣閥排出。油用于密封、潤滑和冷卻。特點：極限真空：10?2~10?3Pa（高真空需配合擴散泵或分子泵）。適用于低真空，結構簡單，維護方便。需定期換油，避免油污染。 真空泵維修需要花費...

現代真空泵的誕生（20世紀初）1905年：德國西門子公司推出***臺水環真空泵7。1907年：油封旋轉泵（Oil-Sealed Rotary Pump）問世，成為機械真空泵的重要類型1。1913年：分子泵（Molecular Pump）發明，適用于高真空環境1。1915年：擴散泵（Diffusion Pump）的發明使真空技術進入超高真空（10?? Torr）時代1。1936年：氣鎮真空泵（Gas Ballast Pump）出現，提高了油封泵的抽氣效率9。4. 真空技術的廣泛應用（20世紀中后期）1940年代：真空技術應用于核研究、真空冶金、真空鍍膜等領域3。1950年代：中國開始自主研制真空...

常見真空泵類型機械泵：通過機械運動產生真空旋片式真空泵螺桿真空泵羅茨泵（增壓泵）擴散泵：利用高速油蒸氣噴射產生真空渦輪分子泵：通過高速旋轉葉片將氣體分子排出低溫泵：利用低溫表面冷凝氣體分子 應用領域半導體制造（晶圓加工、鍍膜）科研實驗（粒子加速器、表面分析）醫療設備（MRI、真空吸引）食品包裝（真空保鮮）光學鍍膜真空冶金選型考慮因素所需達到的真空度抽氣速率要求被抽氣體性質（腐蝕性、可凝性等）系統潔凈度要求運行和維護成本維護要點定期更換泵油（對油封泵）檢查密封件狀態防止異物進入泵體監控泵的運行溫度和振動真空泵系統的設計和選擇需要根據具體應用需求進行專業評估，以確保系統性能和經濟效益。 ...

專業維修服務選擇對于復雜故障或缺乏專業工具的情況，可考慮：廠家維修：聯系設備原廠或授權服務商，確保使用質量備件和專業工具610。第三方服務：選擇有資質的專業維修公司，如要求"3-5年以上真空泵維修經驗，有萊寶、愛德華、普旭真空泵維修經驗"的服務商10。招標采購：大型工業維修項目可通過正規招標流程選擇服務商，如徐州卷煙廠的做法 技術資源獲取維修手冊：設備原廠提供的維修手冊是****的參考資料1。專業培訓：參加真空技術相關的培訓課程，提升故障診斷和維修能力10。行業交流：加入真空技術論壇或協會，與其他專業人士交流經驗57。在線資源：利用可靠的網絡資源，如維庫儀器儀表網、百度學術等獲取技術...

徐州卷煙廠的真空泵項修項目展示了典型的工業維修流程：問題診斷：該廠2#、3#、4#真空泵效率下降，運行穩定性差；新增真空泵抽氣量和真空度不達標24。維修范圍：包括真空泵本體維修、管道線路重新敷設、泵房布局調整等系統工程2。質量要求：表面無污垢損傷；運行穩定無滲漏異響；提供真空度、電流、抽氣量、振動、噪音等檢測報告；整體系統運行平穩2。項目周期：合同簽訂后80個日歷日內完成，質保期至少12個月 重型真空泵深度維修對于重度磨損的工業真空泵，如管件部維修項目中的案例：磨損修復：泵體內部導流板、渦輪、軸部端蓋出現重度磨損，需進行斷軸修復，與渦輪壓合完好8。材料升級：泵體、圓盤更換為304不銹...

專業維修服務選擇對于復雜故障或缺乏專業工具的情況，可考慮：廠家維修：聯系設備原廠或授權服務商，確保使用質量備件和專業工具610。第三方服務：選擇有資質的專業維修公司，如要求"3-5年以上真空泵維修經驗，有萊寶、愛德華、普旭真空泵維修經驗"的服務商10。招標采購：大型工業維修項目可通過正規招標流程選擇服務商，如徐州卷煙廠的做法 技術資源獲取維修手冊：設備原廠提供的維修手冊是****的參考資料1。專業培訓：參加真空技術相關的培訓課程，提升故障診斷和維修能力10。行業交流：加入真空技術論壇或協會，與其他專業人士交流經驗57。在線資源：利用可靠的網絡資源，如維庫儀器儀表網、百度學術等獲取技術...

干式螺桿真空泵（DryScrewPump）原理：兩根相互嚙合的螺桿（轉子）在泵腔內反向旋轉，氣體沿螺桿軸向被壓縮并排出。無需油潤滑，采用間隙密封。特點：極限真空：10?2~10?3Pa。無油污染，適用于潔凈環境（如半導體、制藥）。耐腐蝕，可抽除可凝性氣體。3.羅茨真空泵（RootsPump）原理：兩個“8”字形轉子同步反向旋轉，氣體被吸入并壓縮，但無內壓縮（需配合前級泵使用）。特點：極限真空：10?1~10?2Pa（需搭配旋片泵或螺桿泵）。抽速大，適用于中真空范圍。干式運行，無油污染。真空泵經常出現的故障有哪些？吉林國產真空泵維修生產廠家維修真空泵需要系統化的步驟，以確保安全、高效地排除故障并...

現代真空泵的誕生（20世紀初）1905年：德國西門子公司推出***臺水環真空泵7。1907年：油封旋轉泵（Oil-Sealed Rotary Pump）問世，成為機械真空泵的重要類型1。1913年：分子泵（Molecular Pump）發明，適用于高真空環境1。1915年：擴散泵（Diffusion Pump）的發明使真空技術進入超高真空（10?? Torr）時代1。1936年：氣鎮真空泵（Gas Ballast Pump）出現，提高了油封泵的抽氣效率9。4. 真空技術的廣泛應用（20世紀中后期）1940年代：真空技術應用于核研究、真空冶金、真空鍍膜等領域3。1950年代：中國開始自主研制真空...

真空泵的應用領域非常***，幾乎涵蓋所有需要真空環境的工業、科研和日常生活場景。以下是真空泵的主要應用領域及典型場景：1. 半導體與電子制造應用場景：薄膜沉積（CVD/PVD）：維持高真空環境（10?2 ~ 10?? Pa），確保材料純度4。光刻機與刻蝕設備：超高真空（10?? Pa 以上）減少氣體干擾，提高精度6。芯片封裝：控制殘留氣體濃度（<10?? Pa），防止氧化失效4。電子元件生產：如PCB板制造、真空鍍膜等。 光伏與新能源應用場景：太陽能電池制造：真空環境用于硅片鍍膜、層壓工藝10。鋰電池生產：電極干燥、電解液注液等環節需穩定真空10。氫能設備：燃料電池測試、儲氫系統抽真...

拆卸泵體拆卸順序（以旋片泵為例）：拆除進氣口、排氣口管道。卸下油箱（如有）和油濾網。松開端蓋螺栓，分離泵腔與電機。取出轉子、旋片、彈簧等運動部件。注意事項：拍照或標記零件位置，避免裝錯。使用**工具（如拉馬拆卸軸承）。4. 關鍵部件檢查與維修密封系統：更換老化/變形的O型圈、軸封（材質需耐油耐溫，如氟橡膠）。檢查進氣閥密封性（如氣鎮閥是否漏氣）。磨損件：旋片泵：測量旋片長度（磨損超過原長度10%需更換）。羅茨泵/螺桿泵：檢查轉子間隙（用塞尺測量，超出公差需調整或更換）。缸體/泵腔：檢查內壁劃痕（輕微劃痕可拋光，嚴重需鏜缸或更換）。軸承與軸：轉動軸承聽是否有雜音，更換卡滯或松動軸承。檢查軸頸磨損...

真空泵的日常維護是確保其長期穩定運行、延長使用壽命的關鍵。以下是詳細的維護步驟和注意事項，適用于常見的旋片式、螺桿式、渦旋式等真空泵： 每月/季度維護檢查皮帶張力（皮帶傳動型）手指按壓皮帶中部，下垂幅度約10~15mm為正常，過松打滑，過緊損傷軸承。清理冷卻系統風冷泵：清潔散熱片灰塵；水冷泵：檢查水路暢通，無垢無泄漏。電氣部件檢查電機絕緣電阻、接線端子緊固，避免缺相運行。 電氣部件檢查電機絕緣電阻、接線端子緊固，避免缺相運行。 真空泵如何進行系統化的故障診斷？湖南專業真空泵維修詢問報價注意事項停泵操作：先關閉進氣閥，再斷電，防止倒吸污染泵腔。防腐蝕：抽除腐蝕性氣體后，需用惰性氣...

真空泵是用于產生、改善和維持真空環境的設備，廣泛應用于半導體、醫療、化工、食品包裝等領域。根據工作原理和結構，真空泵可分為機械泵和非機械泵兩大類，每類下又有多種類型。以下是主要真空泵的類型及其工作原理：低溫泵（Cryopump）原理：利用**溫（接近***零度）表面冷凝或吸附氣體分子。特點：極限真空：10??~10?1?Pa（極高真空）。無油、無振動，但需定期再生（解吸氣體）。4.吸附泵（SorptionPump）原理：利用沸石或活性炭等吸附劑在低溫下吸附氣體分子。特點：極限真空：10?2~10?3Pa。無油、無噪音，但吸附容量有限。真空泵經常出現的故障有哪些？江西先進真空泵維修生產企業 真...

維修前的準備工作安全措施：確保設備斷電，系統泄壓，做好防護措施。對于大型工業真空泵，可能需要**工具和設備10。故障診斷：根據故障現象初步判斷問題所在，準備相應的備件和工具。有條件時可查閱設備維修手冊3。工作環境：清潔的工作區域對真空泵維修至關重要，避免灰塵和雜質進入精密部件 分步維修操作拆卸檢查：按順序拆卸泵體，檢查各部件磨損情況。特別注意旋片、轉子、端蓋板之間的配合間隙，以及泵腔內部狀況1。部件清洗：使用適當溶劑清洗所有零件，特別是油路和精密配合面。清洗后應用高壓空氣吹通油孔1。更換磨損件：更換所有超過磨損極限的部件，如密封圈、軸承、彈簧等。注意使用原廠或同等質量的替代品13。重...

真空泵系統真空泵系統是用來產生、維持和測量真空環境的設備組合，廣泛應用于科研、工業制造、半導體、醫療等多個領域。主要組成部分真空泵：**部件，根據所需真空度不同可分為：初級泵（粗真空）：旋片泵、活塞泵、液環泵等次級泵（高真空）：擴散泵、渦輪分子泵、低溫泵等超高真空泵：離子泵、升華泵等真空室/容器：進行真空處理的腔體測量儀表：真空計（如皮拉尼計、電離規等）閥門與管道系統：控制氣體流動路徑控制系統：自動化監控和調節真空度真空泵出現故障應如何解決？廣西測量真空泵維修多少錢真空泵作為重要的真空獲取設備，其特點因類型不同而有所差異，但總體上可以從工作原理、性能參數、應用場景等方面進行歸納。以下是各類真空...

真空泵維修全指南：常見故障診斷與解決方案 真空泵作為工業生產和科研實驗中的重要設備，其正常運行對許多工藝流程至關重要。然而，長期使用過程中難免會出現各種故障。本文將系統介紹真空泵的常見故障類型、診斷方法、維修步驟以及預防性維護措施，幫助您快速解決真空泵運行中的各類問題。 真空泵常見故障診斷無法啟動故障真空泵無法啟動是最常見的故障之一，可能由多種原因引起：電路問題：首先應檢查供電線路是否正常，保險管是否燒毀，以及電路元件有無損壞。使用萬用表檢測電機的電阻值，看是否在正常范圍內39。電機故障：電機燒壞主要表現為定子線圈燒毀，可能由瞬間電流過大或軸承長期磨損導致。檢查時應先查看電機軸...

真空泵的應用領域非常***，幾乎涵蓋所有需要真空環境的工業、科研和日常生活場景。以下是真空泵的主要應用領域及典型場景：1. 半導體與電子制造應用場景：薄膜沉積（CVD/PVD）：維持高真空環境（10?2 ~ 10?? Pa），確保材料純度4。光刻機與刻蝕設備：超高真空（10?? Pa 以上）減少氣體干擾，提高精度6。芯片封裝：控制殘留氣體濃度（<10?? Pa），防止氧化失效4。電子元件生產：如PCB板制造、真空鍍膜等。 光伏與新能源應用場景：太陽能電池制造：真空環境用于硅片鍍膜、層壓工藝10。鋰電池生產：電極干燥、電解液注液等環節需穩定真空10。氫能設備：燃料電池測試、儲氫系統抽真...

年度大維護***拆檢（根據使用頻率）更換磨損的旋片、軸承、密封圈等易損件。清理泵腔內積碳、油泥（可用**清洗劑浸泡后擦拭）。校準真空度對比真空表讀數與標準值，偏差大時需排查泄漏或部件老化。潤滑電機軸承加注高溫潤滑脂（如鋰基脂），避免干磨。五、注意事項停泵操作：先關閉進氣閥，再斷電，防止倒吸污染泵腔。防腐蝕：抽除腐蝕性氣體后，需用惰性氣體沖洗泵腔（如氮氣吹掃）。環境要求：保持通風，避免粉塵、潮濕環境。備用配件：常備油封、過濾器等易耗品，減少停機時間。真空泵出現故障應如何解決？貴州真空真空泵維修原廠家目前使用真空泵獲得真空的技術方法有兩種：(1)傳輸式真空泵通過改變泵腔的體積來抽氣，將氣體分子不斷...

未來發展趨勢無油化：干式真空泵（如螺桿泵、爪式泵）成為主流，減少污染。智能化：集成傳感器和遠程監控，實現預測性維護。節能高效：優化設計，降低能耗（如變頻控制）。微型化：適用于小型化設備（如便攜式真空系統）?？偨Y油封泵：成本低，但需維護油路，適用于普通工業。干式泵：無油、耐腐蝕，適合潔凈行業。高真空泵（擴散泵、分子泵）：用于科研和精密制造，但成本高。未來方向：更環保、智能、高效。根據具體需求（真空度、介質、預算等）選擇合適的真空泵類型至關重要。按真空度分類，真空泵可分為哪幾類？陜西測量真空泵維修詢問報價 真空泵維修全指南：常見故障診斷與解決方案 真空泵作為工業生產和科研實驗中的重要設備，...

真空泵日常預防性維護策略 真空泵日常維護要點有哪些？ 油位與油質監控：定期檢查油位是否在標線范圍內，觀察油品顏色和狀態。油量不足應加到油標中心線，油質變差需更換新油13。冷卻系統檢查：確保冷卻水流量正常，防止泵運轉中溫升過高。高溫會加速油品老化和部件磨損1。過濾器維護：定期清洗或更換進氣過濾器，防止異物進入泵腔造成損壞3。密封檢查：定期檢查軸封、排氣閥、端蓋、進氣口等部位的密封情況，及時發現并處理微小泄漏。 如何自行維修真空泵？天津高純度真空真空泵維修生產廠家 常見真空泵類型機械泵：通過機械運動產生真空旋片式真空泵螺桿真空泵羅茨泵（增壓泵）擴散泵：利用高速油蒸氣噴射產生真空渦...

干式螺桿真空泵（DryScrewPump）原理：兩根相互嚙合的螺桿（轉子）在泵腔內反向旋轉，氣體沿螺桿軸向被壓縮并排出。無需油潤滑，采用間隙密封。特點：極限真空：10?2~10?3Pa。無油污染，適用于潔凈環境（如半導體、制藥）。耐腐蝕，可抽除可凝性氣體。3.羅茨真空泵（RootsPump）原理：兩個“8”字形轉子同步反向旋轉，氣體被吸入并壓縮，但無內壓縮（需配合前級泵使用）。特點：極限真空：10?1~10?2Pa（需搭配旋片泵或螺桿泵）。抽速大，適用于中真空范圍。干式運行，無油污染。真空泵維修工作環境。陜西測試真空泵維修設備公司每日維護檢查油位/油質（油封泵）油位應在視窗的1/2~2/3處，...

關鍵性能參數極限壓力：泵入口處可達到的比較低壓力。抽氣速率：與壓力相關，需根據工況選擇。氣體類型：腐蝕性、可凝性氣體需特殊材質或設計（如防腐涂層）。噪音與振動：工業場景需考慮低噪音型號。四、應用領域工業：真空包裝、電子束焊接、光伏制造?？蒲校毫Ｗ游锢怼⑻漳M艙。醫療：MRI冷卻系統、手術吸引設備。半導體：晶圓加工、刻蝕、CVD鍍膜。五、選型指南確定真空度需求：粗真空（10?~103 Pa）：旋片泵、液環泵。高真空（10?1~10?? Pa）：擴散泵+機械泵組合。氣體特性：腐蝕性氣體：選用耐腐蝕材料（如PTFE涂層）?？赡哉魵猓杭友b冷凝器或選擇干泵。環境要求：無油環境：選擇干式螺桿泵或渦旋泵...