通過對這些微光信號的成像與定位,它能直接“鎖定”電性能缺陷的物理位置,如同在黑夜中捕捉螢火蟲的微光,實現微米級的定位。而熱紅外顯微鏡則是“溫度的解讀師”,依托紅外熱成像技術,它檢測的是芯片工作時因能量損耗產生的溫度差異。電流通過芯片時的電阻損耗、電路短路時的異常功耗,都會轉化為局部溫度的細微升高,這些熱量以紅外輻射的形式散發,被熱紅外顯微鏡捕捉并轉化為熱分布圖。通過分析溫度異常區域,它能間接推斷電路中的故障點,尤其擅長發現與能量損耗相關的問題。支持離線數據分析,可將檢測圖像導出后進行深入處理,不占用設備的實時檢測時間。國產微光顯微鏡品牌 光束誘導電阻變化(OBIRCH)功能與微光顯微鏡(EM...
InGaAs微光顯微鏡與傳統微光顯微鏡在原理和功能上具有相似之處,均依賴于電子-空穴對復合產生的光子及熱載流子作為探測信號源。然而,InGaAs微光顯微鏡相較于傳統微光顯微鏡,呈現出更高的探測靈敏度,并且其探測波長范圍擴展至900nm至1700nm,而傳統微光顯微鏡的探測波長范圍限于350nm至1100nm。這一特性使得InGaAs微光顯微鏡具備更更好的波長檢測能力,從而拓寬了其應用領域。進一步而言,InGaAs微光顯微鏡的這一優勢使其在多個科研與工業領域展現出獨特價值。在半導體材料研究中,InGaAs微光顯微鏡能夠探測到更長的波長,這對于分析材料的缺陷、雜質以及能帶結構等方面具有重要意義。我...
致晟光電始終以客戶需求為重心,兼顧貨源保障方面。目前,我們有現貨儲備,設備及相關配件一應俱全,能夠快速響應不同行業、不同規模客戶的采購需求。無論是緊急補購的小型訂單,還是批量采購的大型項目,都能憑借充足的貨源實現高效交付,讓您無需為設備短缺而擔憂,確保生產計劃或項目推進不受影響。 為了讓客戶對設備品質有更直觀的了解,我們大力支持現場驗貨。您可以親臨我們的倉庫或展示區,近距離觀察設備的外觀細節,親身操作查驗設備的運行性能、精度等關鍵指標。每一臺設備都經過嚴格的出廠檢測,我們敢于將品質擺在您眼前,讓您在采購前就能對設備的實際狀況了然于胸,消除后顧之憂。 我司自主研發的桌面級設備其緊湊的機...
在半導體芯片漏電檢測中,微光顯微鏡為工程師快速鎖定問題位置提供了關鍵支撐。當芯片施加工作偏壓時,設備即刻啟動檢測模式 —— 此時漏電區域因焦耳熱效應會釋放微弱的紅外輻射,即便輻射功率為 1 微瓦,高靈敏度探測器也能捕捉到這一極微弱信號。這種檢測方式的在于,通過熱成像技術將漏電點的紅外輻射轉化為可視化熱圖,再與電路版圖進行疊加分析,可實現漏電點的微米級精確定位。相較于傳統檢測手段,微光設備無需拆解芯片即可完成非接觸式檢測,既避免了對芯片的二次損傷,又能在不干擾正常電路工作的前提下,捕捉到漏電區域的細微熱信號。與原子力顯微鏡聯用時,微光顯微鏡可同步獲取樣品的表面形貌和發光信息,便于關聯材料的結構與...
失效分析是指通過系統的檢測、實驗和分析手段,探究產品或器件在設計、生產、使用過程中出現故障、性能異常或失效的根本原因,進而提出改進措施以預防同類問題再次發生的技術過程。它是連接產品問題與解決方案的關鍵環節,**在于精細定位失效根源,而非*關注表面現象。在半導體行業,失效分析具有不可替代的應用價值,貫穿于芯片從研發到量產的全生命周期。 在研發階段,針對原型芯片的失效問題(如邏輯錯誤、漏電、功耗過高等),通過微光顯微鏡、探針臺等設備進行失效點定位,結合電路仿真、材料分析等手段,可追溯至設計缺陷(如布局不合理、時序錯誤)或工藝參數偏差,為芯片設計優化提供直接依據;在量產環節,當出現批量性失...
半導體材料分為直接帶隙半導體和間接帶隙半導體,而Si是典型的直接帶隙半導體,其禁帶寬度為1.12eV。所以當電子與空穴復合時,電子會彈射出一個光子,該光子的能量為1.12eV,根據波粒二象性原理,該光子的波長為1100nm,屬于紅外光區。通俗的講就是當載流子進行復合的時候就會產生1100nm的紅外光。這也就是產生亮點的原因之一:載流子復合。所以正偏二極管的PN結處能看到亮點。如果MOS管產生latch-up現象,(體寄生三極管導通)也會觀察到在襯底處產生熒光亮點。當金屬層遮擋導致 OBIRCH 等無法偵測故障時,微光顯微鏡可進行補充檢測。微光顯微鏡分析 對半導體研發工程師而言,排查的過程層...
適用場景的分野,進一步凸顯了二者(微光顯微鏡&熱紅外顯微鏡)的互補價值。在邏輯芯片、存儲芯片的量產檢測中,微光顯微鏡通過對細微電缺陷的篩查,助力提升產品良率,降低批量報廢風險;而在功率器件、車規芯片的可靠性測試中,熱紅外顯微鏡對熱分布的監測,成為驗證產品穩定性的關鍵環節。實際檢測中,二者常組合使用:微光顯微鏡定位電缺陷后,熱紅外顯微鏡可進一步分析該缺陷是否引發異常發熱,形成 “光 - 熱” 聯動的全維度分析,為企業提供更佳的故障診斷依據。氧化層漏電及多晶硅晶須引發電流異常時,會產生光子,使微光顯微鏡下出現亮點。制造微光顯微鏡品牌排行在故障分析領域,微光顯微鏡(EmissionMicroscop...
在半導體芯片的精密檢測領域,微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡如同兩把功能各異的 “利劍”,各自憑借獨特的技術原理與應用優勢,在芯片質量管控與失效分析中發揮著不可替代的作用。二者雖同服務于芯片檢測,但在邏輯與適用場景上的差異,使其成為互補而非替代的檢測組合。從技術原理來看,兩者的 “探測語言” 截然不同。 微光顯微鏡是 “光子的捕捉者”,其重心在于高靈敏度的光子傳感器,能夠捕捉芯片內部因電性能異常釋放的微弱光信號 —— 這些信號可能來自 PN 結漏電時的電子躍遷,或是柵氧擊穿瞬間的能量釋放,波長多集中在可見光至近紅外范圍。 通過與光譜儀聯用,可分析光子的光譜信息,為判斷缺陷類型提供更多...
半導體材料分為直接帶隙半導體和間接帶隙半導體,而Si是典型的直接帶隙半導體,其禁帶寬度為1.12eV。所以當電子與空穴復合時,電子會彈射出一個光子,該光子的能量為1.12eV,根據波粒二象性原理,該光子的波長為1100nm,屬于紅外光區。通俗的講就是當載流子進行復合的時候就會產生1100nm的紅外光。這也就是產生亮點的原因之一:載流子復合。所以正偏二極管的PN結處能看到亮點。如果MOS管產生latch-up現象,(體寄生三極管導通)也會觀察到在襯底處產生熒光亮點。微光顯微鏡支持寬光譜探測模式,探測范圍從紫外延伸至近紅外,能滿足不同材料的光子檢測,適用范圍更廣。高分辨率微光顯微鏡批量定制致晟光電...
在故障分析領域,微光顯微鏡(EmissionMicroscope,EMMI)是一種極具實用價值且效率出眾的分析工具。其功能是探測集成電路(IC)內部釋放的光子。在IC元件中,電子-空穴對(ElectronHolePairs,EHP)的復合過程會伴隨光子(Photon)的釋放。具體可舉例說明:當P-N結施加偏壓時,N區的電子會向P區擴散,同時P區的空穴也會向N區擴散,隨后這些擴散的載流子會與對應區域的載流子(即擴散至P區的電子與P區的空穴、擴散至N區的空穴與N區的電子)發生EHP復合,并在此過程中釋放光子。但歐姆接觸和部分金屬互聯短路時,產生的光子十分微弱,難以被微光顯微鏡偵測到,借助近紅外光進...
同時,我們誠摯歡迎各位客戶蒞臨蘇州實驗室進行深入交流。在這里,我們的專業技術團隊將為您詳細演示微光顯微鏡、熱紅外顯微鏡的全套操作流程,從基礎功能到高級應用,一一講解其中的技術原理與操作技巧。針對您在設備選型、使用場景、技術參數等方面的疑問,我們也會給予細致入微的解答,讓您對失效分析領域掌握設備優勢與適用范圍。 這種面對面的深度溝通,旨在讓合作過程更加透明,讓您對我們的產品與服務更有信心,合作也更顯安心。 通過與光譜儀聯用,可分析光子的光譜信息,為判斷缺陷類型提供更多依據,增強分析的全面性。紅外光譜微光顯微鏡市場價致晟光電將熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)與微光顯微鏡 (EMM...
定位短路故障點短路是造成芯片失效的關鍵誘因之一。 當芯片內部電路發生短路時,短路區域會形成異常電流通路,引發局部溫度驟升,并伴隨特定波長的光發射現象。EMMI(微光顯微鏡)憑借其超高靈敏度,能夠捕捉這些由短路產生的微弱光信號,再通過對光信號的強度分布、空間位置等特征進行綜合分析,可實現對短路故障點的精確定位。 以一款高性能微處理器芯片為例,其在測試中出現不明原因的功耗激增問題,技術人員初步判斷為內部電路存在短路隱患。通過EMMI對芯片進行全域掃描檢測,在極短時間內便在芯片的某一特定功能模塊區域發現了光發射信號。結合該芯片的電路設計圖紙和版圖信息進行深入分析,終鎖定故障點為兩條相...
致晟光電將熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)與微光顯微鏡 (EMMI) 集成的設備,在維護成本控制上展現出優勢。對于分開的兩臺設備,企業需配備專門人員分別學習兩套系統的維護知識,培訓內容涵蓋不同的機械結構、光學原理、軟件操作,還包括各自的故障診斷邏輯與校準流程,往往需要數月的系統培訓才能確保人員熟練操作,期間產生的培訓費用、時間成本居高不下。而使用一套集成設備只需一套維護體系,維護人員只需掌握一套系統的維護邏輯與操作規范,無需在兩套差異化的設備間切換學習,培訓周期可縮短近一半,大幅降低了培訓方面的人力與資金投入。針對接面漏電,我司微光顯微鏡能偵測其光子定位位置,利于篩選不良品,為改進半導...
漏電是芯片另一種常見的失效模式,其誘因復雜多樣,既可能源于晶體管長期工作后的老化衰減,也可能由氧化層存在裂紋等缺陷引發。 與短路類似,芯片內部發生漏電時,漏電路徑中會伴隨微弱的光發射現象——這種光信號的強度往往遠低于短路產生的光輻射,對檢測設備的靈敏度提出了極高要求。EMMI憑借其的微光探測能力,能夠捕捉到漏電產生的極微弱光信號。通過對芯片進行全域掃描,可將漏電區域以可視化圖像的形式清晰呈現,使工程師能直觀識別漏電位置與分布特征。 我司自研含微光顯微鏡等設備,獲多所高校、科研院所及企業認可使用,性能佳,廣受贊譽。廠家微光顯微鏡方案 EMMI的本質只是一臺光譜范圍廣,光子靈敏...
OBIRCH與EMMI技術在集成電路失效分析領域中扮演著互補的角色,其主要差異體現在檢測原理及應用領域。具體而言,EMMI技術通過光子檢測手段來精確定位漏電或發光故障點,而OBIRCH技術則依賴于激光誘導電阻變化來識別短路或阻值異常區域。這兩種技術通常被整合于同一檢測系統(即PEM系統)中,其中EMMI技術在探測光子發射類缺陷,如漏電流方面表現出色,而OBIRCH技術則對金屬層遮蔽下的短路現象具有更高的敏感度。例如,EMMI技術能夠有效檢測未開封芯片中的失效點,而OBIRCH技術則能有效解決低阻抗(<10 ohm)短路問題。配備的自動對焦系統,能快速鎖定檢測區域,減少人工操作時間,提高檢測效率...
致晟光電 RTTLIT E20 微光顯微分析系統(EMMI)是一款專為半導體器件漏電缺陷檢測量身打造的高精度檢測設備。該系統搭載先進的 - 80℃制冷型 InGaAs 探測器與高分辨率顯微物鏡,憑借超高檢測靈敏度,可捕捉器件在微弱漏電流信號下產生的極微弱微光。通過超高靈敏度成像技術,設備能快速定位漏電缺陷并開展深度分析,為工程師優化生產工藝、提升產品可靠性提供關鍵支持,進而為半導體器件的質量控制與失效分析環節提供安全可靠的解決方案。在航空航天芯片檢測中,它可定位因輻射導致的芯片損傷,為航天器電子設備的穩定運行保駕護航。顯微微光顯微鏡應用 選擇國產 EMMI 微光顯微鏡,既是擁抱技術自主,更是...
隨著器件尺寸的逐漸變小,MOS器件的溝道長度也逐漸變短。短溝道效應也愈發嚴重。短溝道效應會使得MOS管的漏結存在一個強電場,該電場會對載流子進行加速,同時賦予載流子一個動能,該載流子會造成中性的Si原子被極化,產生同樣帶有能量的電子與空穴對,這種電子與空穴被稱為熱載流子,反映在能帶圖中就是電位更高的電子和電位更低的空穴。一部分熱載流子會在生成后立馬復合,產生波長更短的熒光,另一部分在電場的作用下分離。電子進入柵氧層,影響閾值電壓,空穴進入襯底,產生襯底電流。歸因于短溝道效應能在MOS管的漏端能看到亮點,同樣在反偏PN結處也能產生強場,也能觀察到亮點。其搭載的圖像增強算法,能強化微弱光子信號,減...
芯片制造工藝復雜精密,從設計到量產的每一個環節都可能潛藏缺陷,而失效分析作為測試流程的重要一環,是攔截不合格產品、追溯問題根源的 “守門人”。微光顯微鏡憑借其高靈敏度的光子探測技術,能夠捕捉到芯片內部因漏電、熱失控等故障產生的微弱發光信號,定位微米級甚至納米級的缺陷。這種檢測能力,能幫助企業快速鎖定問題所在 —— 無論是設計環節的邏輯漏洞,還是制造過程中的材料雜質、工藝偏差,都能被及時發現。這意味著企業可以針對性地優化生產工藝、改進設計方案,從而提升芯片良率。在當前芯片制造成本居高不下的背景下,良率的提升直接轉化為生產成本的降低,讓企業在價格競爭中占據更有利的位置。針對納米級半導體器件,搭配超...
半導體企業購入微光顯微鏡設備,是提升自身競爭力的關鍵舉措,原因在于芯片測試需要找到問題點 —— 失效分析。失效分析能定位芯片設計缺陷、制造瑕疵或可靠性問題,直接決定產品良率與市場口碑。微光顯微鏡憑借高靈敏度的光子探測能力,可捕捉芯片內部微弱發光信號,高效識別漏電、熱失控等隱性故障,為優化生產工藝、提升芯片性能提供關鍵數據支撐。在激烈的市場競爭中,快速完成失效分析意味著縮短研發周期、降低返工成本,同時通過提升產品可靠性鞏固客戶信任,這正是半導體企業在技術迭代與市場爭奪中保持優勢的邏輯。支持離線數據分析,可將檢測圖像導出后進行深入處理,不占用設備的實時檢測時間。國產微光顯微鏡設備制造 當芯片內部...
失效分析是指通過系統的檢測、實驗和分析手段,探究產品或器件在設計、生產、使用過程中出現故障、性能異常或失效的根本原因,進而提出改進措施以預防同類問題再次發生的技術過程。它是連接產品問題與解決方案的關鍵環節,**在于精細定位失效根源,而非*關注表面現象。在半導體行業,失效分析具有不可替代的應用價值,貫穿于芯片從研發到量產的全生命周期。 在研發階段,針對原型芯片的失效問題(如邏輯錯誤、漏電、功耗過高等),通過微光顯微鏡、探針臺等設備進行失效點定位,結合電路仿真、材料分析等手段,可追溯至設計缺陷(如布局不合理、時序錯誤)或工藝參數偏差,為芯片設計優化提供直接依據;在量產環節,當出現批量性失...
同時,微光顯微鏡(EMMI)帶來的高效失效分析能力,能大幅縮短研發周期。在新產品研發階段,快速發現并解決失效問題,可避免研發過程中的反復試錯,加快產品從實驗室走向市場的速度。當市場需求瞬息萬變時,更快的研發響應速度意味著企業能搶先推出符合市場需求的產品,搶占市場先機。例如,在當下市場 5G 芯片、AI 芯片等領域,技術迭代速度極快,誰能更早解決研發中的失效難題,誰就能在技術競爭中爭先一步,建立起差異化的競爭優勢。氧化層漏電及多晶硅晶須引發電流異常時,會產生光子,使微光顯微鏡下出現亮點。檢測用微光顯微鏡聯系人 致晟光電作為專注于微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡應用的技術團隊,設備在微小目標定位、熱分布...
這一技術不僅有助于快速定位漏電根源(如特定晶體管的柵氧擊穿、PN結邊緣缺陷等),更能在芯片量產階段實現潛在漏電問題的早期篩查,為采取針對性修復措施(如優化工藝參數、改進封裝設計)提供依據,從而提升芯片的長期可靠性。例如,某批次即將交付的電源管理芯片在出廠前的EMMI抽檢中,發現部分芯片的邊角區域存在持續穩定的微弱光信號。結合芯片的版圖設計與工藝參數分析,確認該區域的NMOS晶體管因柵氧層局部厚度不足導致漏電。技術團隊據此對這批次芯片進行篩選,剔除了存在漏電隱患的產品,有效避免了缺陷芯片流入市場后可能引發的設備功耗異常、發熱甚至燒毀等風險。介電層漏電時,微光顯微鏡可檢測其光子定位位置,保障電子器...
隨著器件尺寸的逐漸變小,MOS器件的溝道長度也逐漸變短。短溝道效應也愈發嚴重。短溝道效應會使得MOS管的漏結存在一個強電場,該電場會對載流子進行加速,同時賦予載流子一個動能,該載流子會造成中性的Si原子被極化,產生同樣帶有能量的電子與空穴對,這種電子與空穴被稱為熱載流子,反映在能帶圖中就是電位更高的電子和電位更低的空穴。一部分熱載流子會在生成后立馬復合,產生波長更短的熒光,另一部分在電場的作用下分離。電子進入柵氧層,影響閾值電壓,空穴進入襯底,產生襯底電流。歸因于短溝道效應能在MOS管的漏端能看到亮點,同樣在反偏PN結處也能產生強場,也能觀察到亮點。靜電放電破壞半導體器件時,微光顯微鏡偵測其光...
漏電是芯片另一種常見的失效模式,其誘因復雜多樣,既可能源于晶體管長期工作后的老化衰減,也可能由氧化層存在裂紋等缺陷引發。 與短路類似,芯片內部發生漏電時,漏電路徑中會伴隨微弱的光發射現象——這種光信號的強度往往遠低于短路產生的光輻射,對檢測設備的靈敏度提出了極高要求。EMMI憑借其的微光探測能力,能夠捕捉到漏電產生的極微弱光信號。通過對芯片進行全域掃描,可將漏電區域以可視化圖像的形式清晰呈現,使工程師能直觀識別漏電位置與分布特征。 針對氮化鎵等寬禁帶半導體,它能適應其寬波長探測需求,助力寬禁帶器件的研發與應用。顯微微光顯微鏡成像在半導體 MEMS 器件檢測領域,微光顯微鏡憑借...
需要失效分析檢測樣品,我們一般會在提前做好前期的失效背景調查和電性能驗證工作,能夠為整個失效分析過程找準方向、提供依據,從而更高效、準確地找出芯片失效的原因。 1.失效背景調查收集芯片型號、應用場景、失效模式(如短路、漏電、功能異常等)、失效比例、使用環境(溫度、濕度、電壓)等。確認失效是否可復現,區分設計缺陷、制程問題或應用不當(如過壓、ESD)。 2.電性能驗證使用自動測試設備(ATE)或探針臺(ProbeStation)復現失效,記錄關鍵參數(如I-V曲線、漏電流、閾值電壓偏移)。對比良品與失效芯片的電特性差異,縮小失效區域(如特定功能模塊)。 我司自主研發的桌面級設備其...
企業用戶何如去采購適合自己的設備? 功能側重的差異,讓它們在芯片檢測中各司其職。微光顯微鏡的 “專長” 是識別電致發光缺陷,對于邏輯芯片、存儲芯片等高密度集成電路中常見的 PN 結漏電、柵氧擊穿、互連缺陷等細微電性能問題,它能提供的位置信息,是芯片失效分析中定位 “電故障” 的工具。 例如,在 7nm 以下先進制程芯片的檢測中,其高靈敏度可捕捉到單個晶體管異常產生的微弱信號,為工藝優化提供關鍵依據。 熱紅外顯微鏡則更關注 “熱失控” 風險,在功率半導體、IGBT 等大功率器件的檢測中表現突出。這類芯片工作時功耗較高,散熱性能直接影響可靠性,短路、散熱通道堵塞等問題會導致局...
在半導體芯片的精密檢測領域,微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡如同兩把功能各異的 “利劍”,各自憑借獨特的技術原理與應用優勢,在芯片質量管控與失效分析中發揮著不可替代的作用。二者雖同服務于芯片檢測,但在邏輯與適用場景上的差異,使其成為互補而非替代的檢測組合。從技術原理來看,兩者的 “探測語言” 截然不同。 微光顯微鏡是 “光子的捕捉者”,其重心在于高靈敏度的光子傳感器,能夠捕捉芯片內部因電性能異常釋放的微弱光信號 —— 這些信號可能來自 PN 結漏電時的電子躍遷,或是柵氧擊穿瞬間的能量釋放,波長多集中在可見光至近紅外范圍。 我司微光顯微鏡可檢測 TFT LCD 面板及 PCB/PCBA...
同時,我們誠摯歡迎各位客戶蒞臨蘇州實驗室進行深入交流。在這里,我們的專業技術團隊將為您詳細演示微光顯微鏡、熱紅外顯微鏡的全套操作流程,從基礎功能到高級應用,一一講解其中的技術原理與操作技巧。針對您在設備選型、使用場景、技術參數等方面的疑問,我們也會給予細致入微的解答,讓您對失效分析領域掌握設備優勢與適用范圍。 這種面對面的深度溝通,旨在讓合作過程更加透明,讓您對我們的產品與服務更有信心,合作也更顯安心。 我司設備面對閘極氧化層缺陷,微光顯微鏡可檢測其漏電,助力及時解決相關問題,避免器件性能下降或失效。低溫熱微光顯微鏡貨源充足 需要失效分析檢測樣品,我們一般會在提前做好前期的失效背景...
失效背景調查就像是為芯片失效分析開啟 “導航系統”,能幫助分析人員快速了解芯片的基本情況,為后續工作奠定基礎。收集芯片型號是首要任務,不同型號的芯片在結構、功能和特性上存在差異,這是開展分析的基礎信息。同時,了解芯片的應用場景也不可或缺,是用于消費電子、工業控制還是航空航天等領域,不同的應用場景對芯片的性能要求不同,失效原因也可能大相徑庭。 失效模式的收集同樣關鍵,短路、漏電、功能異常等不同的失效模式,指向的潛在問題各不相同。比如短路可能是由于內部線路故障,而漏電則可能與芯片的絕緣性能有關。失效比例的統計也有重要意義,如果同一批次芯片失效比例較高,可能暗示著設計缺陷或制程問題;如果只...
當芯片內部存在漏電缺陷,如結漏電、氧化層漏電時,電子-空穴對復合會釋放光子,微光顯微鏡(EMMI)能捕捉并定位。對于載流子復合異常情況,像閂鎖效應、熱電子效應引發的失效,以及器件在飽和態晶體管、正向偏置二極管等工作狀態下的固有發光,它也能有效探測,為這類與光子釋放相關的失效提供關鍵分析依據。 而熱紅外顯微鏡則主要用于排查與熱量異常相關的芯片問題。金屬互聯短路、電源與地短接會導致局部過熱,其可通過檢測紅外輻射差異定位。對于高功耗區域因設計缺陷引發的電流集中導致的熱分布異常,以及封裝或散熱結構失效造成的整體溫度異常等情況,它能生成溫度分布圖像,助力找出熱量異常根源。 半導體失效分析中,微...