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膜厚儀標價

來源: 發布時間:2024-02-23

通過基于表面等離子體共振傳感的測量方案,結合共振曲線的三個特征參數,即共振角、半高寬和反射率小值,反演計算可以精確地得到待測金屬薄膜的厚度和介電常數。該方案操作簡單,利用Kretschmann型結構的表面等離子體共振實驗系統即可得到共振曲線,從而得到金膜的厚度。由于該方案為一種強度測量方案,受環境影響較大,測量結果存在多值性問題,因此研究人員進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析,從P光和S光之間相位差的變化來實現厚度測量。膜厚儀依賴于膜層和底部材料的反射率和相位差來實現這一目的。膜厚儀標價

白光干涉測量技術,也稱為光學低相干干涉測量技術,使用的是低相干的寬譜光源,如超輻射發光二極管、發光二極管等。與所有光學干涉原理一樣,白光干涉也是通過觀察干涉圖案變化來分析干涉光程差變化,并通過各種解調方案實現對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優點是,由于白光光源的相干長度很小(一般為幾微米到幾十微米之間),所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,即中心條紋,與零光程差的位置對應。因此,中心零級干涉條紋的存在為測量提供了一個可靠的位置參考,只需一個干涉儀即可進行待測物理量的測量,克服了傳統干涉儀不能進行測量的缺點。同時,相對于其他測量技術,白光干涉測量方法還具有環境不敏感、抗干擾能力強、動態范圍大、結構簡單和成本低廉等優點。經過幾十年的研究與發展,白光干涉技術在膜厚、壓力、溫度、應變、位移等領域已得到廣泛應用。膜厚儀標價該儀器的工作原理是通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,基于反射率和相位差。

光纖白光干涉測量使用的是寬譜光源。在選擇光源時,需要重點考慮光源的輸出光功率和中心波長的穩定性。由于本文所設計的解調系統是通過測量干涉峰值的中心波長移動來實現的,因此光源中心波長的穩定性對實驗結果會產生很大的影響。實驗中我們選擇使用由INPHENIX公司生產的SLED光源,相對于一般的寬帶光源具有輸出功率高、覆蓋光譜范圍寬等優點。該光源采用+5V的直流供電,標定中心波長為1550nm,且其輸出功率在一定范圍內可調。驅動電流可以達到600mA。

傅里葉變換是白光頻域解調方法中一種低精度的信號解調方法。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調。因此,該解調方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,進而得到待測物理量的信息。傅里葉變換解調方案的優點是解調速度較快,受干擾信號的影響較小。但是其測量精度較低。根據數字信號處理FFT(快速傅里葉變換)理論,若輸入光源波長范圍為λ1,λ2,則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),所以此方法主要應用于對解調精度要求不高的場合。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進。該方法總結起來就是對采集到的光譜信號做傅里葉變換,然后濾波、提取主頻信號后進行逆傅里葉變換,然后做對數運算,并取其虛部做相位反包裹運算,由獲得的相位得到干涉儀的光程差。該方法經過實驗證明其測量精度比傅里葉變換高。總的來說,白光干涉膜厚儀是一種應用很廣的測量薄膜厚度的儀器。

折射率分別為1.45和1.62的2塊玻璃板,使其一端相接觸,形成67的尖劈.將波長為550nm的單色光垂直投射在劈上,并在上方觀察劈的干涉條紋,試求條紋間距。

我們可以分2種可能的情況來討論:

一般玻璃的厚度可估計為1mm的量級,這個量級相對于光的波長550nm而言,應該算是膜厚e遠遠大于波長^的厚玻璃了,所以光線通過上玻璃板時應該無干涉現象,同理光線通過下玻璃板時也無干涉現象.空氣膜厚度因劈角很小而很薄,與波長可比擬,所以光線通過空氣膜應該有干涉現象,在空氣膜的下表面處有一半波損失,故光程差應該為2n2e+λ/2.

(2)假設玻璃板厚度的量級與可見光波長量級可比擬,當單色光垂直投射在劈尖上時,上玻璃板能滿足形成薄膜干涉的條件,其光程差為2n2e+λ/2,下玻璃板也能滿足形成薄膜于涉的條件,光程差為2n1h+λ/2,但由于玻璃板膜厚均勻,h不變,人射角i=儼也不變,故玻璃板形成的薄膜干涉為等傾又等厚干涉條紋,要么玻璃板全亮,要么全暗,它不會影響空氣劈尖干涉條紋的位置和條紋間距??諝馀飧缮婀獬滩钊詾?n2e+λ/2,但玻璃板會影響劈尖干涉條紋的亮度對比度. 光路長度越長,分辨率越高,但同時也更容易受到靜態振動等干擾因素的影響。品牌膜厚儀定做

隨著技術的不斷進步和應用領域的擴展,白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進一步提高。膜厚儀標價

在納米級薄膜的各項相關參數中,薄膜材料的厚度是薄膜設計和制備過程中重要的參量之一,具有決定薄膜性質和性能的基本作用。然而,由于其極小尺寸及突出的表面效應,使得對納米級薄膜的厚度準確測量變得困難。經過眾多科研技術人員的探索和研究,新的薄膜厚度測量理論和測量技術不斷涌現,測量方法從手動到自動、有損到無損不斷得到實現。對于不同性質薄膜,其適用的厚度測量方案也不相同。針對納米級薄膜,應用光學原理的測量技術。相比其他方法,光學測量方法具有精度高、速度快、無損測量等優勢,成為主要檢測手段。其中代表性的測量方法有橢圓偏振法、干涉法、光譜法、棱鏡耦合法等。膜厚儀標價

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